經(jīng)過這一次的開發(fā)，射頻電源實(shí)現(xiàn)了對EtherCAT、DeviceNet 和PROFIBUS DP 三種常見半導(dǎo)體工業(yè)通信協(xié)議的兼容。在國內(nèi)本土化專業(yè)技術(shù)支持的幫助下，客戶僅用約25 天便完成了產(chǎn)品開發(fā)并成功面向市場發(fā)布。

前言
射頻電源在半導(dǎo)體制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色，從等離子體的產(chǎn)生到刻蝕過程，再到薄膜沉積技術(shù)，射頻電源的應(yīng)用確保了半導(dǎo)體器件制造的精確性和高效率。EtherCAT 憑借其高效的通信性能、強(qiáng)大的適應(yīng)性，成為了半導(dǎo)體行業(yè)中廣泛采用的工業(yè)以太網(wǎng)通訊技術(shù)。

因此國內(nèi)薄膜沉積，刻蝕設(shè)備內(nèi)部廣泛使用EtherCAT 技術(shù)，而射頻電源作為薄膜沉積，刻蝕設(shè)備內(nèi)的一個(gè)部件，需要對外兼容EtherCAT 通信協(xié)議，并確保在苛刻環(huán)境下實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、穩(wěn)定的通信。

客戶面臨的挑戰(zhàn)
? 多變的市場：客戶目前需求EtherCAT協(xié)議，但不排除未來需要其他的工業(yè)通信協(xié)議，例如：Profibus DP, DeviceNet，如何才能快速應(yīng)對需求的變化。
? 苛刻的工作環(huán)境：射頻電源的應(yīng)用場景是半導(dǎo)體設(shè)備，現(xiàn)場要求高穩(wěn)定性，一旦生產(chǎn)過程中出現(xiàn)問題，損失巨大。
? 有限的研發(fā)資源：客戶的核心競爭力是射頻產(chǎn)品本身的開發(fā)，有限的資源無法投入復(fù)雜工業(yè)通信協(xié)議的研究開發(fā)，甚至協(xié)議的維護(hù)升級(jí)。

HMS 解決方案
經(jīng)過多款產(chǎn)品對比，客戶最終選擇了Anybus CompactCom M40 方案。在該方案中，射頻電源主控MCU 通過SPI與M40 進(jìn)行通信，M40 則負(fù)責(zé)處理與實(shí)現(xiàn)通信協(xié)議。在國內(nèi)本土化專業(yè)技術(shù)支持的幫助下，客戶僅用約25 天便完成了產(chǎn)品開發(fā)并成功面向市場發(fā)布。經(jīng)過這一次的開發(fā)，射頻電源實(shí)現(xiàn)了對EtherCAT、DeviceNet 和PROFIBUSDP 三種常見半導(dǎo)體工業(yè)通信協(xié)議的兼容。

方案特點(diǎn)
? 多工業(yè)通信協(xié)支持 ：單一的硬件設(shè)計(jì)可以輕松兼容多種工業(yè)通信協(xié)議
? 豐富的接口 ：硬件接口與 CPU 之間可以通過 UART,SPI 或 8bit/16bit 并口
? 開發(fā)簡單 ：縮短產(chǎn)品上市時(shí)間
? 易于使用 ：可滑入模塊槽，方便終端用戶安裝
? 預(yù)認(rèn)證 ：已通過相關(guān)網(wǎng)絡(luò)組織的預(yù)認(rèn)證，可以幫助客戶實(shí)現(xiàn)更快的產(chǎn)品級(jí)認(rèn)證

“Anybus 方案在半導(dǎo)體行業(yè)射頻電源產(chǎn)品上有大量的應(yīng)用案例， 我們相信他們的產(chǎn)品穩(wěn)定可靠，在選擇Anybus 方案后，我們很驚訝他們產(chǎn)品開發(fā)也是如此簡單， 我們從開發(fā)到樣機(jī)僅用了25 天， 這個(gè)對我們開發(fā)市場非常重要?！?/em>

半導(dǎo)體行業(yè) EtherCAT 一致性
半導(dǎo)體設(shè)備制造廠商除了開發(fā)頂級(jí)設(shè)備外， 每個(gè)自動(dòng)化設(shè)備必須符合 EtherCAT 技術(shù)集團(tuán)(ETG) 的 EtherCAT 半導(dǎo)體規(guī)范。Anybus CompactCom 40 是一種支持 EtherCAT 半導(dǎo)體配置文件的通信解決方案。硬件和軟件都支持ETG.5003。

方案影響
客戶與HMS 自2022 年開始合作， 采用M40 方案的射頻電源產(chǎn)品已成功批量應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)， 產(chǎn)品的功率從幾千瓦到幾十千瓦在客戶現(xiàn)場穩(wěn)定運(yùn)行， 并兼容了半導(dǎo)體行業(yè)常規(guī)協(xié)議EtherCAT, DeviceNet, PROFIBUS DP。M40 成功助力客戶射頻電源在半導(dǎo)體行業(yè)建立良好口碑， 目前年用量達(dá)上千。

審核編輯 黃宇