本節(jié)要求：

掌握氣敏傳感器的工作原理和應(yīng)用。

一、材料

主要用于工業(yè)上天然氣、煤氣、石油化工等部門(mén)的易燃、易爆、有毒、有害氣體的監(jiān)測(cè)、預(yù)報(bào)和自動(dòng)控制, 氣敏元件是以化學(xué)物質(zhì)的成分為檢測(cè)參數(shù)的化學(xué)敏感元件。

氣敏電阻的材料是金屬氧化物半導(dǎo)體（分P型如氧化錫和N型如氧化鈷），合成材料有時(shí)還滲入了催化劑, 如鈀（Pd）、鉑（Pt）、銀（Ag）等。

二、工作原理

三、制造工藝

按制造工藝上分燒結(jié)型、薄膜型、厚膜型。

以薄膜型為例：在石英或陶瓷基片上制成金屬氧化物薄膜（厚度0.1 μm以下）, 構(gòu)成薄膜型氣敏元件。 以石英玻璃或陶瓷作為絕緣基片, 通過(guò)真空鍍膜在基片上蒸鍍鋅金屬, 用鉑或鈀膜作引出電極, 最后將基片上的鋅氧化。氧化鋅敏感材料是N型半導(dǎo)體, 當(dāng)添加鉑作催化劑時(shí), 對(duì)丁烷、丙烷、乙烷等烷烴氣體有較高的靈敏度, 而對(duì)H2、CO2等氣體靈敏度很低。若用鈀作催化劑時(shí), 對(duì)H2 、CO有較高的靈敏度, 而對(duì)烷烴類(lèi)氣體靈敏度低。因此,這種元件有良好的選擇性。