本節(jié)要求：

了解傳感器智能化、微型化的發(fā)展趨勢。

一、傳感器智能化

⑴國內(nèi)智能傳感器的研究

與國外相比，我國智能傳感器的研究主要集中在以下幾個方面：

①采用先進的微電子技術(shù)、計算機技術(shù)，研究開發(fā)將傳感器和微處理器結(jié)合、具有各種功能的單片集成化智能傳感器，這是智能傳感器的主要發(fā)展方向之一。

②利用生物工藝和納米技術(shù)研制傳感器功能材料，開發(fā)分子和原子生物傳感器。為智能傳感器的發(fā)展奠定基礎(chǔ)。

③采用部分進口芯片、國產(chǎn)芯片和敏感元件，利用現(xiàn)有條件研究實現(xiàn)混合型集成智能傳感器（系統(tǒng)）。

⑵智能傳感器的發(fā)展

從工程應(yīng)用看，智能傳感器不斷向網(wǎng)絡(luò)化、柔性化發(fā)展。

二、傳感器微型化

微機電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical System, MEMS）技術(shù)的發(fā)展是傳感器微型化的基礎(chǔ)，微傳感器是目前最為成功、最具實用性的微機械電子系統(tǒng)裝置。

微機電系統(tǒng)的目前研究主要包括以下幾個方面：

⑴基礎(chǔ)理論研究

⑵技術(shù)基礎(chǔ)研究

①設(shè)計方法研究

②材料技術(shù)

③微加工技術(shù)

④微檢測技術(shù)

⑤集成與控制技術(shù)

⑶應(yīng)用研究

①在汽車工業(yè)中的應(yīng)用

②在機器人中的應(yīng)用

③在生物醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用