主要特點:
電阻測量可達1018Ω
電流測量范圍10aA-20mA
最小電流量程輸入端壓降<20μV
200TΩ輸入阻抗
<3fA偏置電流
測試速率高達425 rdgs/s
噪聲0.75fA p-p
內(nèi)置±1kV電壓源
獨特的高電阻測量電壓反接方法
可選的插件式掃描卡
出眾的性能指標(biāo)
半機架型6517B靜電計/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅0.75fA p-p(峰-峰)，輸入端壓降<20μV。對于接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測量的輸入阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準(zhǔn)確度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試和電阻測試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm)及表面電阻率(Ω/square)的測量。
