吉時利6517B（Keithley）6517A 靜電計/高阻表。

吉時利6517A 不僅僅是一臺“高阻表”，它更是一臺多功能靜電計。它的設(shè)計目標是測量那些用普通萬用表根本無法測量的參數(shù)，例如：

絕緣材料的電阻（最高可達10^17 Ω）

半導(dǎo)體材料的電阻率

光電二極管的暗電流（低至10^-17 A）

電容器的漏電流

產(chǎn)生的靜電荷

其核心特點是極高的輸入阻抗（>200 TΩ）和極低的電流測量下限（0.1 fA，即 10^-16 A），這使得它能夠進行最前沿的精密測量。

主要特性和功能
1. 極高的測量能力
電阻測量： 范圍從 100 μΩ 到 10 PΩ (10^16 Ω)。通過使用可選的外部皮安計或超高阻測試夾具，最高可擴展至 200 PΩ (2 × 10^17 Ω)。

電流測量： 這是其核心強項，范圍從 0.1 fA (10^-16 A) 到 20 mA，寬達20個數(shù)量級。

電荷測量： 范圍從 10 fC 到 2 μC。

電壓測量： 高輸入阻抗電壓表，范圍從 100 nV 到 200 V。

2. 卓越的準確度和低噪聲設(shè)計
采用靜電計級別的運算放大器和三重屏蔽（Guard） 設(shè)計，將外部干擾和內(nèi)部漏電流降至最低。

使用充氣式密封繼電器和特氟龍（Teflon）材料絕緣子，防止在潮濕環(huán)境下因電路板污染導(dǎo)致測量誤差。

極低的偏置電流（< 4 fA），確保在測量極高電阻時自身帶來的誤差極小。