2611B-吉時(shí)利2611B數(shù)字源表
2611B-吉時(shí)利2611B數(shù)字源表
吉時(shí)利 2611B 是 2600B 系列單通道系統(tǒng)源測(cè)量單元（SMU），以 200V 高壓、1.5A 直流 / 10A 脈沖輸出、100fA 低電流分辨率與 TSP 高速腳本為核心，適合高壓功率器件、半導(dǎo)體漏電流與材料表征，兼顧臺(tái)式研發(fā)與量產(chǎn)自動(dòng)化。以下從核心參數(shù)、功能特點(diǎn)、應(yīng)用與接口、使用要點(diǎn)展開詳細(xì)介紹。
一、核心參數(shù)表（23℃預(yù)熱 2 小時(shí)，1 NPLC）
| 參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格數(shù)據(jù) | 備注 |
|---|---|---|
| 電壓輸出范圍 | ±200V | 四象限操作，遠(yuǎn)端檢測(cè) |
| 電流輸出范圍 | ±1.5A DC / ±10A 脈沖 | 單通道 200W 功率，降功率模式支持脈沖 |
| 電壓測(cè)量分辨率 | 100nV | 6? 位，低噪聲模式 |
| 電流測(cè)量分辨率 | 100fA | 6? 位，適配微弱漏電流測(cè)量 |
| 測(cè)量速度 | 最高 20,000 讀數(shù) / 秒 | 單通道高速模式 |
| 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 1000 點(diǎn)緩存 | 支持批量導(dǎo)出與統(tǒng)計(jì) |
| 接口 | GPIB、USB 2.0、LAN（LXI-C）、TSP-Link、數(shù)字 I/O、RS-232 | 多機(jī)同步與遠(yuǎn)程控制 |
| 保護(hù)功能 | 過壓 / 過流 / 過溫 / 短路保護(hù) | 自動(dòng)限流 / 關(guān)斷，保護(hù) DUT 與儀器 |
| 工作溫度 | 0℃～50℃ | 實(shí)驗(yàn)室 / 生產(chǎn)線適配 |
二、核心功能與優(yōu)勢(shì)
- 單通道高壓中功率輸出：±200V 高壓覆蓋功率器件耐壓測(cè)試，1.5A 直流 / 10A 脈沖滿足中功率器件導(dǎo)通與開關(guān)測(cè)試，200W 功率適配高功耗場(chǎng)景。
- 四象限源與測(cè)量：可作為電源或電子負(fù)載，輸出 / 測(cè)量正負(fù)電壓與電流，覆蓋 IV 曲線全范圍，無需額外儀器。
- 高精度與低噪聲：6? 位 ADC 保證微弱信號(hào)捕捉（100fA/100nV 分辨率），低噪聲模式抑制干擾，適合半導(dǎo)體漏電流與材料高阻測(cè)量。
- 高速 TSP 與擴(kuò)展：TSP 技術(shù)使系統(tǒng)速度較傳統(tǒng)通信提升 200%，TSP-Link 支持多機(jī)菊花鏈連接（最多 64 通道），無主機(jī)開銷，適配量產(chǎn)并行測(cè)試。
- 兼容性與軟件生態(tài)：兼容 2400 SMU 指令，舊代碼可直接移植；內(nèi)置 Web I-V 測(cè)試軟件，支持 LabVIEW 驅(qū)動(dòng)與第三方工具，即插即用。
三、典型應(yīng)用場(chǎng)景
- 功率半導(dǎo)體：MOSFET、IGBT、SiC/GaN 器件的擊穿電壓、導(dǎo)通電阻、開關(guān)特性測(cè)試。
- 半導(dǎo)體器件：CMOS 漏電流、二極管反向漏電流、BJT 增益特性測(cè)量。
- 新材料與 MEMS：高壓傳感器、介電材料、光伏組件的 IV 表征與高阻測(cè)量。
- 無源元件：高壓電容、電阻的絕緣電阻與耐壓測(cè)試。
- 可靠性測(cè)試：高壓加速老化，同步記錄電壓 / 電流 / 溫度數(shù)據(jù)。
四、使用與維護(hù)要點(diǎn)
- 預(yù)熱與校準(zhǔn)：開機(jī)預(yù)熱 2 小時(shí)確保穩(wěn)定；建議每年校準(zhǔn)一次，維持 100fA/100nV 分辨率指標(biāo)。
- 連接規(guī)范：高壓測(cè)試優(yōu)先使用高壓同軸電纜與遠(yuǎn)端檢測(cè)，減小線損與噪聲；脈沖測(cè)試需配低電感夾具，避免過沖。
- 編程效率：用 TSP 腳本內(nèi)置測(cè)試邏輯，減少 PC 通信開銷；多機(jī)同步時(shí)用 TSP-Link 菊花鏈，保證時(shí)序一致性。
- 安全操作：設(shè)置電壓 / 電流上限與過功率保護(hù)，高壓測(cè)試配絕緣夾具與防護(hù)措施；異常時(shí)自動(dòng)關(guān)斷輸出，防止 DUT 損壞。
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