清芯卓甩干機(jī)

型號(hào)： qxzSG

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

晶片規(guī)格 2-8〞wafer

--- 產(chǎn)品詳情 ---

晶片規(guī)格： 2-8〞wafer RPM： 500-2600r/min 基礎(chǔ)工藝流程: 上料→DI噴淋+旋轉(zhuǎn)→N2（hot）+旋轉(zhuǎn)→加速旋轉(zhuǎn)（溫控）→下料腔體數(shù)量：單腔/雙腔/四腔設(shè)備類(lèi)型：半自動(dòng) Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm

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蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

清芯卓甩干機(jī)

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