Keysight / Agilent 4156C 精密半導體參數分析儀為高級器件表征提供了高精度實驗室臺式參數分析儀。Keysight/Agilent 4156C 分析儀卓越的低電流和低電壓分辨率以及內置的準靜態(tài) CV 測量功能為未來擴展其他測量儀器奠定了堅實的基礎。
Keysight / Agilent 4156C 分析儀的特性和技術指標包括：
- 內置四個高分辨率源/監(jiān)視器單元，2個電壓源單元；2電壓監(jiān)控單元
- 開發(fā)新的工藝技術并通過測量到 1 fA 和 0.2 uV 來評估材料
- 全開爾文；每個 HRSMU 的強制、感應和保護端子
- 執(zhí)行準靜態(tài)電容測量與電壓測量
- 自動提取工藝參數，無需手動操作屏幕標記
- 使用超低泄漏 SMU 測量泄漏特性
- 使用集成脈沖發(fā)生器和選擇器開關自動進行設備表征
- 使用內置應力模式執(zhí)行晶圓上可靠性測試
- 使用圖形用戶界面執(zhí)行點擊式測量
- 在 Windows 環(huán)境下提供圖形數據分析功能
- 旋鈕掃描功能驗證每個探頭是否接觸
- 待機模式無需外部電源
- 觸發(fā)模式允許同步 AC/DC 測量
- 允許繪制和分析所有數據的 IBASIC 用戶函數
