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　　微驅(qū)動(dòng)器是一種換能器，它可以將電、光、熱等多種形式的能量轉(zhuǎn)換為機(jī)械能輸出。因此，它有多種不同的動(dòng)作原理和結(jié)構(gòu)形式。從能量轉(zhuǎn)換形式分類，有電磁驅(qū)動(dòng)、靜電驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)、形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)、熱驅(qū)動(dòng)等多種形式。