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集成度，是指圖形中最小線條寬度，集成電路的集成度是指單塊芯片上所容納的元件數(shù)目，集成度越高，所容納的元件數(shù)目越多，為此對(duì)傳統(tǒng)的光刻方法進(jìn)行了很多改進(jìn)以滿足分辨率的要求，增加集成電路的集成度。