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半導體工藝制程在進入32nm以下的節(jié)點后,每一步都歷盡艱辛,傳統(tǒng)的工藝技術已經無法滿足7nm以下的制程了。好在FinFET之后,又帶來了全新的GAA工藝;而5nm之后的時代,全新GAA技術有望延續(xù)現(xiàn)有半導體技術路線的壽命。
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