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MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。
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mems傳感器
