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傳感器-壓阻傳感

2009年11月07日 09:51 m.sdkjxy.cn 作者:佚名 用戶評論(0

傳感器-壓阻傳感???


壓阻式傳感器是用集成電路工藝技術(shù),在硅片上制造出四個等值的薄膜電阻,并組成電橋電路。當不受力作用時,電橋處于平衡狀態(tài),無電壓輸出;當受到力作用時,電橋失去平衡,輸出與應力成正比的電壓。壓阻式傳感器的工作原理與傳統(tǒng)的半導體應變式傳感器的工作原理一樣,都是基于半導體材料的壓阻效應。

壓阻系數(shù)
半導體電阻的相對變化近似等于電阻率的相對變化,而電阻率的相對變化與應力成正比,二者的比例系數(shù)定義為


固態(tài)壓阻式傳感器壓阻系數(shù)。由下式可得:
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傳感器
影響壓阻系數(shù)的因素
影響壓阻系數(shù)的因素主要是擴散電阻的表面雜質(zhì)濃度和溫度。

固態(tài)壓阻器件
利用固體擴散技術(shù),將P型雜質(zhì)擴散到一片N型硅底層上,形成一層極薄的導電P型層,
裝上引線接點后,即形成擴散型半導體應變片。若在圓形硅膜片上擴散出四個P型電阻,構(gòu)成惠斯登電橋的四個臂,這樣的敏感器件通常稱為固態(tài)壓阻器件。

測量電路
壓阻式傳感器的輸出信號一般較小,需要用電路進行放大。

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