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背照式圖像傳感器

2012年02月03日 17:37 中電網(wǎng) 作者:辰光 用戶評(píng)論(0

背照式(BSI)圖像傳感器是指采用從背面對(duì)傳感器進(jìn)行照明,即采用背面照度技術(shù)(BSI)的傳感器。采用BSI構(gòu)建像素,光線無需穿過金屬互連層。然而,這仍然對(duì)光路徑帶來一些限制,幸運(yùn)的是,促使FSI技術(shù)不斷改進(jìn)的許多知識(shí)和技術(shù)進(jìn)步可以直接應(yīng)用于BSI技術(shù),從而為提高BSI性能打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

BSI的主要優(yōu)勢(shì)是能夠使電氣組件與光線分離,使光路徑能夠被獨(dú)立地優(yōu)化,反之亦然。而且,這無需在金屬層或光導(dǎo)管中創(chuàng)建一個(gè)孔徑,從而消除了入射光的損耗機(jī)理。其最終結(jié)果是BSI能夠獲得更高的QE。BSI圖像傳感器超越傳統(tǒng)FSI器件的另一個(gè)主要優(yōu)勢(shì)是像素的光堆疊高度更低。但應(yīng)當(dāng)注意的是,相比具有光導(dǎo)管的FSI架構(gòu),這一優(yōu)勢(shì)并不明顯,這是因?yàn)閷?duì)于后者,由于光線在互連堆疊的頂部聚集,并由光導(dǎo)管限制和導(dǎo)引到光電檢測(cè)器表面,有效光堆疊高度也會(huì)減小。

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( 發(fā)表人:辰光 )

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