Spartan EFEM系統(tǒng)可每小時(shí)加工450張晶圓

Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)宣布，已經(jīng)提高公司的Spartan設(shè)備前端模塊（EFEM）的性能，將其每小時(shí)的加工能力提高至450張晶圓。改進(jìn)設(shè)計(jì)的目的是滿足高通量半導(dǎo)體制造工藝如剝離/去膠、清洗和離子注入的需要。由于擁有專(zhuān)有的晶圓機(jī)常壓機(jī)器人，改進(jìn)后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的時(shí)間內(nèi)以最快的速度進(jìn)行晶圓切換，實(shí)現(xiàn)100%的工藝設(shè)備利用率。

　　“使設(shè)備生產(chǎn)能力最大化是設(shè)備供應(yīng)商的核心競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，同時(shí)也為IC制造商們降低設(shè)備的擁有成本，”Crossing Automation的產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)副總裁May Su表示，“對(duì)于那些擁有每小時(shí)加工數(shù)百片晶圓的生產(chǎn)能力、但卻因現(xiàn)有的常壓機(jī)器人技術(shù)而無(wú)法開(kāi)足產(chǎn)能的設(shè)備來(lái)說(shuō)尤其重要。通過(guò)升級(jí)Spartan已經(jīng)生產(chǎn)檢驗(yàn)的計(jì)算晶圓運(yùn)動(dòng)路徑的軟件算法，我們現(xiàn)在能夠讓所有能通過(guò)商業(yè)手段購(gòu)買(mǎi)到的EFEM發(fā)揮出最大產(chǎn)能，同時(shí)還能維持Spartan現(xiàn)有的可靠性和清潔度性能�！�

　　增強(qiáng)版Spartan EFEM已通過(guò)某領(lǐng)先的剝離設(shè)備供應(yīng)商的認(rèn)證，并表明在現(xiàn)有的EFEM技術(shù)的技術(shù)基礎(chǔ)上將加工能力提高了20%。此次實(shí)際生產(chǎn)驗(yàn)證Spartan平臺(tái)的安裝基數(shù)超過(guò)1000件，上線時(shí)間達(dá)99%。