PECVD原理
2010年07月18日 11:29 m.sdkjxy.cn 作者：本站 用戶評(píng)論（0）
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PECVD原理
PECVD作用：在硅片表面鍍上一層深藍(lán)色的氮化硅膜，可以充分吸收太陽光，降低反射，并且氮化硅膜有鈍化的作用，保護(hù)電池片不受污染。
PECVD原理：利用硅烷（SiH4）與氨氣（NH3）在等離子體中反應(yīng)，生成Si3N4沉積到硅片表面。
干法刻蝕化學(xué)方程式：
PECVD效果：
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