硅片厚薄不均預(yù)防措施
1、TV偏大或偏小：根據(jù)客戶(hù)要求片厚，計(jì)算出最佳成本/質(zhì)量的槽距，鋼線(xiàn)，碳化硅，砂漿密度。
2、TTV》15mm的硅片占比超過(guò)0.62%，屬于異常。對(duì)于一次切割的單位，應(yīng)增加導(dǎo)向條(部位不提供)，兩次切割的單位最好把導(dǎo)輪(主輥)槽距改一下或第二次切割時(shí)砂漿流量增大500公斤/小時(shí)(5l/min)或多更換20公斤砂漿。
3、硅片的進(jìn)刀處的進(jìn)線(xiàn)端(角)偏薄或偏厚，應(yīng)修改進(jìn)刀時(shí)的砂漿流量
4、同一個(gè)硅片的厚度呈大-小-大-小分布的，應(yīng)調(diào)整切割工藝程序。進(jìn)給，線(xiàn)速，流量應(yīng)均勻同步變化。
5、跳線(xiàn)引起的某刀硅片厚度異常，同一個(gè)片的厚度異常，不同片子的厚度偏差等，因通過(guò)加過(guò)濾網(wǎng)/過(guò)濾袋/振蕩過(guò)濾器和切割前仔細(xì)過(guò)濾，沒(méi)有跳線(xiàn)來(lái)消除。