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針對(duì)引信設(shè)計(jì)中的天線小型化問題，設(shè)計(jì)了一種易于與集成電路集成的硅基層疊式微帶貼片天線．該天線的設(shè)計(jì)結(jié)合 ＭＥＭＳ工藝，通過在硅介質(zhì)中增加空氣腔結(jié)構(gòu)和改變同軸線內(nèi)導(dǎo)體芯徑的途徑，改善了微帶天線介質(zhì)基板的等效介電常數(shù)和天線的阻抗特性，有效地增大了天線的帶寬．ＨＦＳＳ仿真結(jié)果表明，與未采用空氣腔結(jié)構(gòu)和改變同軸線內(nèi)導(dǎo)體芯徑的普通硅基微帶貼片天線相比，ＭＥＭＳ層疊式硅基微帶天線的相對(duì)帶寬由 ４％ 增加到 １８．４％（駐波比 爼爳爾爲(wèi)＜２），達(dá)到了引信設(shè)計(jì)的性能要求．
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