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步進電動機高精度細分方法及其控制系統(tǒng)
本論文題目來自對現(xiàn)有橢偏儀進行技術(shù)改進工作中的“用步進電機取代傳統(tǒng)直流減速電機”的研究課題。橢圓偏振測量技術(shù)是一種測量薄膜厚度和研究其表面特性的先進方法，具有靈敏度高、精度高、實時和無損樣品的優(yōu)點。
步進電動機
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