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應(yīng)用范圍
???主要用于制造變送器。其中包括絕對壓力、表壓、差壓、流量變送器，也用于控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)，廣泛用于礦山、采煉油、供水、供氣、汽車、飛機(jī)、航天等領(lǐng)域。
???原理是基于硅的應(yīng)變電阻效應(yīng)。在蘭寶石襯底上硅敏感元件構(gòu)成靈敏的應(yīng)變計(jì)電路--由4個(gè)有效的敏感應(yīng)變計(jì)的惠斯頓電橋。蘭寶石膜片與高彈性合金膜片固封為一體，流體壓力作用于這種一體的雙膜結(jié)構(gòu)使電阻應(yīng)變計(jì)變化，并將這種變化轉(zhuǎn)換為電信號。
???采用微電子加工方法做成的這種雙膜結(jié)構(gòu)，便于保證重復(fù)性和可靠性（壓力不泄漏）。蘭寶石膜片與金屬膜片是在高真空下，用靜電或其它分子鍵合方法封接為一體的，保證了在很寬的溫區(qū)內(nèi)具有很小的機(jī)械滯后（0.05%）和使傳感器具有長期穩(wěn)定性（在大信號輸出情況下<0.1%/6個(gè)月）。
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