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摘要：摘要是本文提出了一種應(yīng)用于微機電系統(tǒng)嵌入式傳感器片上系統(tǒng)新工藝上的靜電放電防護器件的電路結(jié)構(gòu)。這個靜電放電防護結(jié)構(gòu)采用了以地端為參考電位的，多指條晶閘管類器件，包括以下幾個部分1)輸入/輸出防護，2）電源鉗位3）微機電處理過程中的內(nèi)部傳感器電極。本文也提出了一種在有限的芯片面積下實現(xiàn)靜電放電防護等級要求的多指條版圖布局。這種靜電放電防護設(shè)計體系在器件級和片上系統(tǒng)級都得到了測試和驗證，有效性和魯棒性都得到了證實。測試數(shù)據(jù)表明采用了本防護體系的片上系統(tǒng)在不引入閂鎖，漏電流只有10-10A的情況下承受了4.1kV的人體放電模式的靜電測試。
關(guān)鍵詞：靜電放電；片上系統(tǒng)氣體傳感器；微機電系統(tǒng)；晶閘管；回滯曲線
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