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相比其他諸如音圈和檢流計(jì)之類(lèi)的驅(qū)動(dòng)器，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的偏轉(zhuǎn)臺(tái)和掃描鏡具有更快的加速度和更高的帶寬，采用位移傳感器的閉環(huán)系統(tǒng)具有很高的定位精度。針對(duì)掃描范圍±1 mrad，分辨率幾個(gè)μrad的激光掃描系統(tǒng)技術(shù)要求，提出了以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的偏轉(zhuǎn)鏡為核心部件的掃描系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用兩通道16位D/A，經(jīng)過(guò)數(shù)模轉(zhuǎn)換后送功率放大器放大后控制擺鏡偏轉(zhuǎn)，系統(tǒng)采用了電阻應(yīng)變片位移傳感器的閉環(huán)控制，提高了定位精度。
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