電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
從第一個晶體管問世算起，半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展已有多半個世紀(jì)了，現(xiàn)在它仍保持著強(qiáng)勁的發(fā)展態(tài)勢，繼續(xù)遵循 Moore 定律即芯片集成度18個月翻一番，每三年器件尺寸縮小0.7倍的速度發(fā)展。大尺寸、細(xì)線寬、高精度、高效率、低成本的IC生產(chǎn)，正在對半導(dǎo)體設(shè)備帶來前所未有的挑戰(zhàn)。
集成電路在制造過程中經(jīng)歷了材料制備、掩膜、光刻、清洗、刻蝕、滲雜、化學(xué)機(jī)械拋光等多個工序，其中尤以光刻工藝最為關(guān)鍵，決定著制造工藝的先進(jìn)程度。隨著集成電路由微米級向鈉米級發(fā)展，光刻采用的光波波長也從近紫外（NUV）區(qū)間的436nm、365nm波長進(jìn)入到深紫外（DUV）區(qū)間的248nm、193nm波長。目前大部分芯片制造工藝采yong了 248nm 和 193nm 光刻技術(shù)。目前對于 13.5nm 波長的 EUV 極端遠(yuǎn)紫外光刻技術(shù)研究也在提速前進(jìn)。
光刻技術(shù)
加入交流群
掃碼添加小助手
加入工程師交流群
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- EUV光刻技術(shù)如何為功率半導(dǎo)體提供動力
- 集成電路制造的光刻與刻蝕工藝 64次下載
- 光刻友好設(shè)計(jì)成功的導(dǎo)航 0次下載
- 有限空間大型光源測量技術(shù)的介紹 22次下載
- 集成電路加工光致抗蝕劑概念與光刻技術(shù)的介紹 18次下載
- 激光顯示技術(shù)的三種光源技術(shù)方式的介紹及與SLPL技術(shù)相結(jié)合的顯示技術(shù) 16次下載
- 半導(dǎo)體光刻工藝培訓(xùn)資料 0次下載
- MEMS工藝(3光刻技術(shù)) 0次下載
- 半導(dǎo)體光刻技術(shù)及設(shè)備的發(fā)展趨勢 70次下載
- 高精度光刻機(jī)在大規(guī)模集成電路上的應(yīng)用 65次下載
- 光刻膠與光刻工藝技術(shù) 0次下載
- 光學(xué)光刻中的離軸照明技術(shù) 0次下載
- 非接觸式IC卡技術(shù)
- 成門極換流晶閘管(IGCT)的光刻技術(shù)的設(shè)計(jì)工藝研究
- 基于視頻共焦顯微鏡光刻對準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究
- 澤攸科技 | 電子束光刻（EBL）技術(shù)介紹 2.6k次閱讀
- 詳談X射線光刻技術(shù) 1.4k次閱讀
- 光刻技術(shù)概述及其分類 3.9k次閱讀
- 基于機(jī)器學(xué)習(xí)的逆向光刻技術(shù) 1.1k次閱讀
- 半導(dǎo)體光刻技術(shù)的起源與發(fā)展 4.3k次閱讀
- 計(jì)算光刻技術(shù)的發(fā)展 4.1k次閱讀
- 提高光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù)及光刻機(jī)的發(fā)展情況 1.5w次閱讀
- 光刻技術(shù)的原理詳細(xì)說明 2.3w次閱讀
- 浸沒式光刻原理淺析 2.1w次閱讀
- 干貨！光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景 1.3w次閱讀
- 淺析光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景 6.9k次閱讀
- 光刻技術(shù)的基本原理!光刻技術(shù)的種類光學(xué)光刻 3w次閱讀
- 光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景 1.3w次閱讀
- 光刻技術(shù)概述及光刻技術(shù)的原理 3.6w次閱讀
- 光刻機(jī)結(jié)構(gòu)組成及工作原理 16.7w次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1MDD品牌三極管MMBT3906數(shù)據(jù)手冊
- 2.33 MB | 次下載 | 免費(fèi)
- 2MDD品牌三極管S9012數(shù)據(jù)手冊
- 2.62 MB | 次下載 | 免費(fèi)
- 3聯(lián)想flex2-14D/15D說明書
- 4.92 MB | 次下載 | 免費(fèi)
- 4收音環(huán)繞擴(kuò)音機(jī) AVR-1507手冊
- 2.50 MB | 次下載 | 免費(fèi)
- 524Pin Type-C連接器設(shè)計(jì)報(bào)告
- 1.06 MB | 次下載 | 免費(fèi)
- 6新一代網(wǎng)絡(luò)可視化（NPB 2.0）
- 3.40 MB | 次下載 | 免費(fèi)
- 7MS1000TA 超聲波測量模擬前端芯片技術(shù)手冊
- 0.60 MB | 次下載 | 免費(fèi)
- 8MS1022高精度時間測量(TDC)電路數(shù)據(jù)手冊
- 1.81 MB | 次下載 | 免費(fèi)
本月
- 1愛華AIWA HS-J202維修手冊
- 3.34 MB | 37次下載 | 免費(fèi)
- 2PC5502負(fù)載均流控制電路數(shù)據(jù)手冊
- 1.63 MB | 23次下載 | 免費(fèi)
- 3NB-IoT芯片廠商的資料說明
- 0.31 MB | 22次下載 | 1 積分
- 4H110主板CPU PWM芯片ISL95858HRZ-T核心供電電路圖資料
- 0.63 MB | 6次下載 | 1 積分
- 5UWB653Pro USB口測距通信定位模塊規(guī)格書
- 838.47 KB | 5次下載 | 免費(fèi)
- 6技嘉H110主板IT8628E_BX IO電路圖資料
- 2.61 MB | 4次下載 | 1 積分
- 7蘇泊爾DCL6907(即CHK-S007)單芯片電磁爐原理圖資料
- 0.04 MB | 4次下載 | 1 積分
- 8100W準(zhǔn)諧振反激式恒流電源電路圖資料
- 0.09 MB | 2次下載 | 1 積分
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935137次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關(guān)降壓/升壓雙向直流/直流轉(zhuǎn)換器 PCB layout 設(shè)計(jì)
- 1.48MB | 420064次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233089次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
- 340992 | 191439次下載 | 10 積分
- 5十天學(xué)會AVR單片機(jī)與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183353次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81602次下載 | 10 積分
- 7Keil工具M(jìn)DK-Arm免費(fèi)下載
- 0.02 MB | 73822次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65991次下載 | 10 積分
工商網(wǎng)監(jiān)
評論