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? ? ? ? 在單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中,硅片的直徑大小和晶體生長(zhǎng)過(guò)程的自動(dòng)化程度,對(duì)生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量有很大的影響。硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)的發(fā)展要求設(shè)備智能化具備穩(wěn)定性好、質(zhì)量可靠、操作使用方便等。最大限度免除認(rèn)為因素對(duì)生長(zhǎng)過(guò)程的干擾，必須提高和優(yōu)化設(shè)備的穩(wěn)定性、精確性和智能程度。單晶爐控制柜控制整個(gè)單晶爐安全正常運(yùn)轉(zhuǎn)和加熱功率的變化，控制真空系統(tǒng)運(yùn)行。
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