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針對傳統(tǒng)太赫茲光電導(dǎo)天線輸出功率較低的問題，設(shè)計了一種基于金屬陣列等離子體共振增強的太赫茲光電導(dǎo)天線，以提高太赫茲光電導(dǎo)天線的輸出功率。通過對電磁波和半導(dǎo)體的物理場進行了理論分析，并建立了太赫茲光電導(dǎo)天線模型，利用COM-SOL多物理場有限元軟件進行了仿真實驗研究。仿真計算了金屬陣列等離子體共振增強結(jié)構(gòu)不同周期寬度與高度下半導(dǎo)體基底對800 nm激光的光吸收量，得到了一種優(yōu)化的金屬陣列等離子體共振增強結(jié)構(gòu)，然后計算該結(jié)構(gòu)的太赫茲光電導(dǎo)天線的光電流，同時仿真計算了傳統(tǒng)太赫茲光電導(dǎo)天線的光電流。研究結(jié)果表明：設(shè)計得到的金屬陣列等離子體共振增強太赫茲光電導(dǎo)天線比傳統(tǒng)太赫茲光電導(dǎo)天線光電流增強了約20倍，為等離子體共振增強的太赫茲光電導(dǎo)天線提供了依據(jù)。
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