資料介紹
2005年,國際半導(dǎo)體技術(shù)線路圖(ITRS)委員會首次明確指出在2020年前后硅基CMOS技術(shù)將達到其性能極限。后摩爾時代的集成電路技術(shù)的研究變得日趨急迫,很多人認為微電子工業(yè)在走到7納米技術(shù)節(jié)點之后可能不得不面臨放棄繼續(xù)使用硅材料作為晶體管導(dǎo)電溝道。在為數(shù)不多的可能替代材料中,碳基納米材料被公認為最有可能替代硅材料。
2008年ITRS新興研究材料和新興研究器件工作組在考察了所有可能的硅基CMOS替代技術(shù)之后,明確向半導(dǎo)體行業(yè)推薦重點研究碳基電子學(xué),作為未來5~10年顯現(xiàn)商業(yè)價值的下一代電子技術(shù)。美國國家科學(xué)基金委員會(NSF)十余年來除了在美國國家納米技術(shù)計劃中繼續(xù)對碳納米材料和相關(guān)器件給予重點支持外,在2008年還專門啟動了“超過摩爾定律的科學(xué)與工程項目”,其中碳基電子學(xué)研究被列為重中之重。其后美國不斷加大對碳基電子學(xué)研究的投入,美國國家納米計劃從2010年開始將“2020年后的納米電子學(xué)”設(shè)置為3個重中之重的成名計劃(signatureinitiatives)之一。除美國外,歐盟和其他各國政府也高度重視碳納米材料和相關(guān)電子學(xué)的研究和開發(fā)應(yīng)用,布局和繼續(xù)搶占信息技術(shù)核心領(lǐng)域的制高點。
碳納米管材料中,最有可能替代硅的有兩個,碳納米管和石墨烯。在石墨烯獲得諾貝爾獎之前,碳納米管一直被認為是最有可能代替硅的半導(dǎo)體材料,而如今,由于石墨烯在全球范圍內(nèi)的狂熱,似乎有代替碳納米管之勢,那么,石墨烯和碳納米管,究竟誰能堪當(dāng)大任呢?
碳納米管集成電路的研發(fā)優(yōu)勢與發(fā)展現(xiàn)狀
1991年,日本NEC公司的飯島澄男在高分辨透射電子顯微鏡下檢驗石墨電弧設(shè)備中產(chǎn)生的球狀碳分子時,意外發(fā)現(xiàn)了由碳分子組成的管狀同軸納米管,也就是現(xiàn)在被稱作的碳納米管CNT,又名巴基管。
碳管材料具有極為優(yōu)秀的電學(xué)特性。室溫下碳管的n型和p型載流子(電子和空穴)遷移率對稱,均可以達到10000cm2/(V?s)以上,遠超傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料。另外碳管的直徑僅有1~3nm,更容易被柵極電壓非常有效開啟和關(guān)斷。
碳納米管相對于硅材料的優(yōu)點:
1)載流子輸運是一維的。這意味著減少了對載流子散射的相空間,開辟了彈道輸運的可能性。相應(yīng)地,功耗低。
2)所有碳原子的化學(xué)鍵都是鏈接的,由此,沒有必要進行化學(xué)鈍化工藝以消除類似存在于硅表面的懸掛鍵。這意味著碳納米管電子不一定非得使用二氧化硅絕緣體,高介電常數(shù)和晶體絕緣體都可以直接使用。
3)強共價鍵結(jié)構(gòu)能使碳納米管具有較高的機械穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,且對電遷移有很好的抵抗力,可以承受的電流密度高達10A/cm。
4)它們的關(guān)鍵尺寸,即直徑,是由化學(xué)反應(yīng)控制,而不是傳統(tǒng)的制造工藝。
5)原則上,無論是有源器件(晶體管)還是互連聯(lián)結(jié)線,都可以分別由半導(dǎo)體屬性和金屬屬性的碳納米管制成。
斯坦福大學(xué)研究組采用如(a)所示的碳納米管陣列制備出了如(b)所示的世界上第一個碳納米管計算機;(c)主要功能單元的掃描電子顯微鏡像
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