濾波器是射頻微波系統(tǒng)必不可少的重要組成部分，性能優(yōu)異的濾波器模塊是射頻微波通信系統(tǒng)能正常工作的必要前提。傳統(tǒng)的微波濾波器雖然在參數(shù)指標(biāo)上有很優(yōu)秀的性能，但是其龐大的體積不但使得相應(yīng)的微波通信系統(tǒng)更加龐大，并使產(chǎn)品成本也一起隨之上升；同時(shí)，隨著MMIC（單片）技術(shù)發(fā)展，對(duì)微波濾波器也提出了集成化的高要求。 MMIC濾波器，其高的插入損耗和低的Q值限制了自身的發(fā)展。近十多年來，隨著MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）工藝和MEMS器件的成熟，給微波濾波器的集成化注入了新的活力。與傳統(tǒng)的VLSI工藝相比，MEMS技術(shù)在不犧牲器件性能的前提下，可以實(shí)現(xiàn)微波無源器件的集成化?；贛EMS工藝的微波MEMS濾波器不僅具有優(yōu)異的頻率選擇能力（高Q）和低的插入損耗，而且在體積上遠(yuǎn)小于傳統(tǒng)微波濾波器，易于集成，為微波單片集成系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)奠定了良好的基礎(chǔ)，MEMS濾波器已成為國內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。按濾波器的用途分，微波MEMS濾波器可分為可調(diào)節(jié)MEMS濾波器和非調(diào)節(jié)MEMS濾波器兩大類，文章將對(duì)這兩類MEMS濾波器進(jìn)行分類討論。

　　1、MEMS可調(diào)濾波器

　　由于現(xiàn)代微波通信雷達(dá)系統(tǒng)便攜化和通用化的發(fā)展需求，實(shí)現(xiàn)能夠軟件控制的可編程微波收發(fā)系統(tǒng)是現(xiàn)代微波通信雷達(dá)系統(tǒng)的重要發(fā)展方向。能根據(jù)需求調(diào)節(jié)頻率選擇范圍的微波濾波器是微波系統(tǒng)具有重構(gòu)性的基礎(chǔ)；同時(shí)，在通信系統(tǒng)的前端，通過可調(diào)濾波器，實(shí)現(xiàn)通信系統(tǒng)信道的選擇也是一種新的系統(tǒng)解決方案。傳統(tǒng)可調(diào)濾波器不易實(shí)現(xiàn)集成，MEMS可調(diào)濾波器以其優(yōu)異的性能，成為了突破射頻微波系統(tǒng)通用性不強(qiáng)的約束的最佳選擇。 MEMS可調(diào)濾波器可以分為三類：（1）磁場(chǎng)調(diào)節(jié)濾波器；（2）電場(chǎng)調(diào)節(jié)濾波器；（3）機(jī)械調(diào)節(jié)濾波器。磁場(chǎng)調(diào)節(jié)濾波器（例如YIG）和機(jī)械調(diào)節(jié)濾波器體積巨大，難以集成，在此不做討論。該節(jié)主要討論基于MEMS開關(guān)和MEMS可變電容的兩類 MEMS可調(diào)濾波器。