微機電系統(tǒng)（MEMS）是一種技術(shù)，其最一般的形式可以定義為使用微細加工技術(shù)制成的小型機械和機電元件（即設(shè)備和結(jié)構(gòu)）。MEMS 器件的關(guān)鍵物理尺寸可能從尺寸范圍下端的一微米以下到幾毫米不等。同樣，MEMS 裝置的類型可以從沒有運動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到在集成微電子學的控制下具有多個運動元件的極其復雜的機電系統(tǒng)而變化。MEMS 的一個主要標準是至少有一些元件具有某種機械功能，無論這些元件是否可以移動。用于定義 MEMS 的術(shù)語在世界各地有所不同。在美國，它們主要被稱為 MEMS，而在世界其他地區(qū)，它們被稱為“微系統(tǒng)技術(shù)”或“微機械設(shè)備”。

　　盡管 MEMS 的功能元件是小型化的結(jié)構(gòu)，傳感器，致動器和微電子器件，但最值得注意的（也許是最有趣的）元件是微傳感器和微致動器。微型傳感器和微型執(zhí)行器適當?shù)貧w類為“換能器”，其定義為將能量從一種形式轉(zhuǎn)換為另一種形式的設(shè)備。在微傳感器的情況下，該設(shè)備通常將測量的機械信號轉(zhuǎn)換為電信號。在過去的幾十年中，MEMS 研究人員和開發(fā)人員已經(jīng)針對幾乎所有可能的感應方式（包括溫度，壓力，慣性力，化學物質(zhì)，磁場，輻射等）展示了數(shù)量眾多的微型傳感器。值得注意的是，許多此類微型機械傳感器已經(jīng)展示了的表現(xiàn)超過了他們的宏觀水平。也就是說，例如壓力傳感器的微加工版本通常勝過使用最精確的宏觀水平加工技術(shù)制成的壓力傳感器。不僅 MEMS 器件的性能出色，而且其生產(chǎn)方法還利用了集成電路行業(yè)中使用的批量生產(chǎn)技術(shù)，這可以轉(zhuǎn)化為較低的每器件生產(chǎn)成本，以及許多其他好處。因此，不僅可以實現(xiàn)恒星器件的性能，而且可以以相對較低的成本水平實現(xiàn)。毫不奇怪，基于硅的分立式微傳感器在商業(yè)上得到了迅速的開發(fā)，這些設(shè)備的市場繼續(xù)以快速的速度增長。最近，MEMS 研究與開發(fā)團體已經(jīng)展示了許多微致動器，包括：用于控制氣體和液體流量的微閥；光學開關(guān)和反射鏡，用于重定向或調(diào)制光束；用于顯示器的獨立控制微鏡陣列，用于許多不同應用的微諧振器，用于產(chǎn)生正流體壓力的微泵，用于調(diào)節(jié)翼型上氣流的微瓣以及許多其他產(chǎn)品。令人驚訝的是，即使這些微致動器非常小，它們也經(jīng)常會在宏觀水平上產(chǎn)生影響。也就是說，這些微型執(zhí)行器所執(zhí)行的機械功能遠大于其尺寸所暗示的。
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