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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>半導體硅材料研磨液研究進展

      半導體硅材料研磨液研究進展

      2021-04-09 | rar | 0.31 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　隨著 IC制造技術的飛速發(fā)展，為了增加 IC芯片產(chǎn)量和降低單元制造成本 ，硅片逐漸趨于大直徑化，然而為了滿足 IC封裝的要求，芯片的厚度卻在不斷的減小。因此，對硅片加工的表面質(zhì)量提出了更高的要求。文章詳細說明了硅片研磨機理及工藝條件；重點闡述了在半導體硅片的研磨過程中研磨液的組成及各個組分的作用；并介紹了國內(nèi)外研磨液的發(fā)展現(xiàn)狀，指出了其優(yōu)缺點 ；最后強調(diào)了研磨液開發(fā)的重要性。

      半導體 硅片
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