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簡介：電容式傳感器被廣泛地應(yīng)用在集成傳感器的設(shè)計(jì)中。近年來，隨著無線傳感器與射頻識別技術(shù)的迅速發(fā)展，低功耗傳感器及其接口電路設(shè)計(jì)成為熱點(diǎn)。低功耗接口電路設(shè)計(jì)中往往采用低的電源電壓，然而當(dāng)器件工藝進(jìn)入納米時代后，低的電源電壓使得在電壓幅度域處理傳感器信號的傳統(tǒng)接口電路設(shè)計(jì)所允許的電壓范圍進(jìn)一步降低。針對這種挑戰(zhàn)，設(shè)計(jì)了一種新型的全數(shù)字電容式傳感器接口電路。該設(shè)計(jì)基于鎖相環(huán)原理，將傳感器信號處理轉(zhuǎn)移到頻率域，因此該設(shè)計(jì)可以采用全數(shù)字結(jié)構(gòu)。設(shè)計(jì)的接口電路結(jié)合濕度傳感器，采用中芯國際0.18umCMOS工藝流片，后期測試結(jié)果顯示，該接口電路在芯片面積、線性度及功耗上獲得了優(yōu)異性能。尤其是在0.5V電源電壓下，整個接口電路只消耗了1.05uw功率，相比傳統(tǒng)傳感器接口電路功耗性能獲得了極大提升，此設(shè)計(jì)確實(shí)為低功耗傳感器接口電路設(shè)計(jì)提供了一種新方法。
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