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簡介：采用表面微機(jī)械技術(shù)制作了一種l 3l0 nm 基于InP / 空氣隙分布布拉格反射鏡的微機(jī)械可調(diào)諧Fabry-Perot 光濾波器。該濾波器的通光孔直徑約為70 !m，在l. 4 V 的調(diào)諧電壓下，調(diào)諧范圍達(dá)到l5 nm。并采用光學(xué)傳輸矩陣方法，分析了斜入射對這種可調(diào)諧光濾波器透射譜的峰值半高寬的影響。
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