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簡介：Fabry - Perot （F - P）干涉儀是很多與波長相關(guān)的光學元器件的核心結(jié)構(gòu)，通過研制基于MOEMS 技術(shù)的F - P 光開關(guān)，可以得到研制一大類MOEMS 選頻器件的基本設計方法和基本工藝步驟。文章給出了能完全與現(xiàn)有IC 工藝相結(jié)合，采用Si，SiO?和Si?N4材料的多層介質(zhì)結(jié)構(gòu)的F - P 光開關(guān)的設計方法和設計尺寸及其光性能的模擬結(jié)果，為今后研制光開關(guān)以及結(jié)構(gòu)更為復雜的濾波器等打下了堅實的基礎。
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