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利用透射電子顯微鏡對(duì)壓痕誘發(fā)GaAs中的塑性變形結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究。結(jié)果表明，壓痕周?chē)a(chǎn)生了由長(zhǎng)臂位錯(cuò)和短臂位錯(cuò)組成的非均勻分布的玫瑰型位錯(cuò)組態(tài)和二次對(duì)稱(chēng)分布的孿晶結(jié)構(gòu)。利用電子衍射技術(shù)對(duì)位錯(cuò)類(lèi)型進(jìn)行了分析。結(jié)果表明位錯(cuò)形態(tài)與Fran-Read位錯(cuò)的形核、運(yùn)動(dòng)和相互作用有關(guān)，而孿生過(guò)程與形變過(guò)程中擴(kuò)展位錯(cuò)的產(chǎn)生與運(yùn)動(dòng)密切相關(guān)。
關(guān) 鍵 詞 GaAs單晶; 壓痕; 位錯(cuò)與孿晶; 電子顯微鏡
單晶
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