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本文介紹了ControlNet 總線技術(shù)特點(diǎn)，并將其應(yīng)用到PECVD 設(shè)備的控制系統(tǒng)中。試驗(yàn)結(jié)果表明，采用ControlNet 總線控制技術(shù)，PECVD 設(shè)備淀積薄膜的質(zhì)量有明顯地提高。
關(guān)鍵詞：現(xiàn)場(chǎng)總線，ControlNet，PECVD
ControlNet 是一種新的面向控制層的實(shí)時(shí)性現(xiàn)場(chǎng)總線網(wǎng)絡(luò)，在同一物理介質(zhì)鏈路上提供時(shí)間關(guān)鍵性I/O 數(shù)據(jù)和報(bào)文數(shù)據(jù)，是具有高度確定性、可重復(fù)性的高速控制和數(shù)據(jù)采集網(wǎng)絡(luò)，非常適用于一些控制關(guān)系有復(fù)雜關(guān)聯(lián)、要求控制信息同步、協(xié)調(diào)實(shí)時(shí)控制、數(shù)據(jù)傳輸速度要求較高的應(yīng)用場(chǎng)合。
關(guān)鍵詞：現(xiàn)場(chǎng)總線，ControlNet，PECVD
ControlNet 是一種新的面向控制層的實(shí)時(shí)性現(xiàn)場(chǎng)總線網(wǎng)絡(luò)，在同一物理介質(zhì)鏈路上提供時(shí)間關(guān)鍵性I/O 數(shù)據(jù)和報(bào)文數(shù)據(jù)，是具有高度確定性、可重復(fù)性的高速控制和數(shù)據(jù)采集網(wǎng)絡(luò)，非常適用于一些控制關(guān)系有復(fù)雜關(guān)聯(lián)、要求控制信息同步、協(xié)調(diào)實(shí)時(shí)控制、數(shù)據(jù)傳輸速度要求較高的應(yīng)用場(chǎng)合。
ControlNet
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