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背面夾縫曝光是利用光學(xué)衍射效應(yīng)來(lái)制備三維微結(jié)構(gòu)的新方法．采用 Ｍａｔｌａｂ對(duì)曝光時(shí)間和夾縫對(duì)三維ＳＵ－８結(jié)構(gòu)形貌的影響進(jìn)行了模擬，并開(kāi)展了相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)研究．結(jié)果表明：背面夾縫曝光是獲得三維微結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)便方法．模擬與實(shí)驗(yàn)揭示了相同的規(guī)律性，即微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁傾斜角度取決于夾縫大??；當(dāng)夾縫不變時(shí)，微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁傾斜度不變，但微結(jié)構(gòu)的大小隨曝光時(shí)間而變化．
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