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LMI?公司工業(yè)傳感器研究部新近推出的SLS7000 型鏡面反射傳感器在1mm 測(cè)量范圍內(nèi)具有25mm?的分辨率和16kHz 的采樣率< 采用一種“快速光控制電路”專利產(chǎn)品= ，可見(jiàn)激光光斑尺寸為5&!6 > %&!6，允許仿形測(cè)量復(fù)雜目標(biāo)結(jié)構(gòu)，諸如細(xì)小裂紋和溝槽等。該傳感器的內(nèi)置數(shù)字處理器執(zhí)行測(cè)量數(shù)據(jù)的平均運(yùn)算，其濾波運(yùn)算部分放在另一個(gè)分離的控制器裝置內(nèi)，并與傳感器頭用接口連接。該傳感器可應(yīng)用于芯片線路板、母板和半導(dǎo)體器件等的質(zhì)量檢測(cè)
傳感器
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