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建立了微機(jī)械電容式加速度傳感器的等效電學(xué)模型,通過(guò)振動(dòng)特性的等效電路模型分析了
加速度傳感器對(duì)正弦加速度信號(hào),階躍加速度信號(hào),及存在反饋時(shí)的直流加速度信號(hào)的振動(dòng)位移響應(yīng)情況;利用壓控電容模型分析了加速度傳感器檢測(cè)正弦加速度信號(hào)時(shí)的小電容檢測(cè)電路的性能。模擬結(jié)果表明采用反饋可以拓寬加速度傳感器的測(cè)量范圍,利用等效電學(xué)模型可以優(yōu)化接口電路的整體性能。
關(guān)鍵詞:微機(jī)械加速度傳感器;等效電路模型;壓控電容模型;模擬
加速度傳感器對(duì)正弦加速度信號(hào),階躍加速度信號(hào),及存在反饋時(shí)的直流加速度信號(hào)的振動(dòng)位移響應(yīng)情況;利用壓控電容模型分析了加速度傳感器檢測(cè)正弦加速度信號(hào)時(shí)的小電容檢測(cè)電路的性能。模擬結(jié)果表明采用反饋可以拓寬加速度傳感器的測(cè)量范圍,利用等效電學(xué)模型可以優(yōu)化接口電路的整體性能。
關(guān)鍵詞:微機(jī)械加速度傳感器;等效電路模型;壓控電容模型;模擬
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