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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>基于MEMS技術(shù)的傾角傳感器的研制

基于MEMS技術(shù)的傾角傳感器的研制

2009-07-16 | rar | 316 | 次下載 | 5積分

資料介紹

傾角傳感器可廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、工程機(jī)械、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域,基于MEMS技術(shù)和單片機(jī)技術(shù)研制的傾角傳感器,具有7段LCD顯示和標(biāo)準(zhǔn)RS-485通訊接口,體積小、功耗低,既可作為檢測(cè)儀表使用,也可作為測(cè)控單元連接到現(xiàn)場(chǎng)總線實(shí)現(xiàn)聯(lián)網(wǎng)檢測(cè),該傳感器已投人實(shí)際應(yīng)用,效果良好。
在建筑施工或道路鋪修中,經(jīng)常要對(duì)工程機(jī)械或機(jī)架裝置進(jìn)行調(diào)平校準(zhǔn),并且要對(duì)施工質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè),這時(shí)遇到最多的問(wèn)題就是水平與傾斜的測(cè)量。如果能設(shè)計(jì)一種帶數(shù)字顯示及數(shù)字通訊接口的傾角傳感器,用以代替基于水泡的各種水平尺等簡(jiǎn)陋工具,既可以安裝到這些施工機(jī)械上用于自動(dòng)調(diào)平,也可以作為對(duì)施工質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)的儀表,就正好適應(yīng)了這種行業(yè)工作的需求。鑒于此,在進(jìn)行傾角傳感器的研制中,采用了基于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的熱對(duì)流式加速度計(jì)作為傳感元件,并應(yīng)用單片機(jī)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了這一傳感器設(shè)計(jì)。
mems 傾角傳感器
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