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分析了微型機(jī)電系統(tǒng)的特點(diǎn)、主要科學(xué)技術(shù)問(wèn)題、應(yīng)用和市場(chǎng)。預(yù)計(jì)到2003 年微小系統(tǒng)的市場(chǎng)約為400 億美元, 是商用航空業(yè)的一半。簡(jiǎn)介了我國(guó)的研究情況。國(guó)際上微型機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)剛走向全面發(fā)展, 正是我國(guó)發(fā)展該領(lǐng)域的好時(shí)機(jī)。
微型機(jī)電
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