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在國(guó)內(nèi)外濕度傳感器研究的基礎(chǔ)上，基于Ｓｉ ＣＭＯＳ 工藝研制出了以聚酰亞胺（ＰＩ）為感濕介質(zhì)的電容型相對(duì)濕度傳感器。并對(duì)其結(jié)構(gòu)進(jìn)行了理論分析，仔細(xì)確定了濕度傳感器的工藝步驟和版圖設(shè)計(jì)。對(duì)其測(cè)量范圍、濕滯和響應(yīng)時(shí)間等特性參數(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的測(cè)試。通過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié)果與模擬結(jié)果的對(duì)比分析，給出了該實(shí)驗(yàn)中存在的問(wèn)題和改進(jìn)意見(jiàn)，以便在今后的研究中加強(qiáng)這方面的工作。
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