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對于非制冷紅外傳感器來說，器件的總熱導(dǎo)同時影響著響應(yīng)率和熱響應(yīng)速度，是一個至關(guān)重要的量。本文基于0.18μm的標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝，以易與IC工藝兼容的二極管型非制冷紅外傳感器為研究目標(biāo)，首先分析幾個重要結(jié)構(gòu)參數(shù)對象元熱學(xué)特性的影響，其次利用有限元仿真軟件ANSYS對象元的溫度分布和瞬態(tài)熱響應(yīng)進(jìn)行仿真，以仿真結(jié)果為參考對象元的幾個重要結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，最終得到一組性能較優(yōu)的結(jié)構(gòu)參數(shù)。
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