電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
高密度等離子體化學(xué)氣相淀積(HDP CVD)工藝
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，單個芯片上所能承載的晶體管數(shù)量以驚人的速度增
長，與此同時，半導(dǎo)體制造商們出于節(jié)約成本的需要迫切地希望單個晶圓上能夠容納更
多的芯片。這種趨勢推動了半導(dǎo)體器件特征尺寸的顯著減小，相應(yīng)地也對芯片制造工藝
提出了更高的要求，其中一個具有挑戰(zhàn)性的難題就是絕緣介質(zhì)在各個薄膜層之間均勻無
孔的填充，以提供充分有效的隔離保護，包括淺槽隔離(Shallow-Trench-Isolation)，金屬
前絕緣層(Pre-Metal-Dielectric)，金屬層間絕緣層(Inter-Metal-Dielectric)等等。本文所介
紹的高密度等離子體化學(xué)氣相淀積(HDP CVD)工藝自20 世紀(jì)90 年代中期開始被先進(jìn)的
芯片工廠采用以來，以其卓越的填孔能力、穩(wěn)定的淀積質(zhì)量、可靠的電學(xué)特性等諸多優(yōu)
點而迅速成為0.25 微米以下先進(jìn)工藝的主流。圖1 所示即為在超大規(guī)模集成電路中
HDP CVD 工藝的典型應(yīng)用。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，單個芯片上所能承載的晶體管數(shù)量以驚人的速度增
長，與此同時，半導(dǎo)體制造商們出于節(jié)約成本的需要迫切地希望單個晶圓上能夠容納更
多的芯片。這種趨勢推動了半導(dǎo)體器件特征尺寸的顯著減小，相應(yīng)地也對芯片制造工藝
提出了更高的要求，其中一個具有挑戰(zhàn)性的難題就是絕緣介質(zhì)在各個薄膜層之間均勻無
孔的填充，以提供充分有效的隔離保護，包括淺槽隔離(Shallow-Trench-Isolation)，金屬
前絕緣層(Pre-Metal-Dielectric)，金屬層間絕緣層(Inter-Metal-Dielectric)等等。本文所介
紹的高密度等離子體化學(xué)氣相淀積(HDP CVD)工藝自20 世紀(jì)90 年代中期開始被先進(jìn)的
芯片工廠采用以來，以其卓越的填孔能力、穩(wěn)定的淀積質(zhì)量、可靠的電學(xué)特性等諸多優(yōu)
點而迅速成為0.25 微米以下先進(jìn)工藝的主流。圖1 所示即為在超大規(guī)模集成電路中
HDP CVD 工藝的典型應(yīng)用。
等離子
加入交流群
掃碼添加小助手
加入工程師交流群
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 等離子體位移快控電源設(shè)計
- 低溫等離子體發(fā)生器的應(yīng)用資料說明 35次下載
- 低溫等離子體處理廢氣 4次下載
- 低溫等離子體氣體溫度參數(shù)研究 6次下載
- 等離子體技術(shù)廢水處理工藝工藝流程 0次下載
- COMSOL系列資料_等離子體模塊簡介 59次下載
- 等離子體焊接槍的數(shù)值模擬
- 空間等離子體鞘層的時域特性研究
- 等離子體源離子注入技術(shù)及其應(yīng)用 48次下載
- 托卡馬克等離子體約束
- 等離子體噴射X光時空分辨測量
- 一種大氣微波環(huán)形波導(dǎo)等離子體設(shè)備
- 大氣中固體燃燒等離子體與微波相互作用的實驗研究
- 電磁波在等離子體層中衰減的數(shù)值分析
- 等離子體NOx 脫除技術(shù)概述
- 等離子體光譜儀（ICP-OES）：原理與多領(lǐng)域應(yīng)用剖析 3.4k次閱讀
- 什么是高密度DDR芯片 1.7k次閱讀
- 什么是等離子體 3.3k次閱讀
- 半導(dǎo)體干法刻蝕技術(shù)解析 3.4k次閱讀
- 太陽能電池中表面等離子體增強光捕獲技術(shù) 3.2k次閱讀
- 等離子體清洗工藝的關(guān)鍵技術(shù) 等離子體清洗在封裝生產(chǎn)中的應(yīng)用 3.7k次閱讀
- 半導(dǎo)體絕緣介質(zhì)的填充-HDPOX 1.1w次閱讀
- 淺析多次等離子清洗對引線鍵合質(zhì)量可靠性的影響 3k次閱讀
- 半導(dǎo)體制造之等離子工藝詳解 4.1k次閱讀
- CVD過程中的等離子工藝 4.1k次閱讀
- 高密度的SMT貼片加工可以帶來哪些好處 3.5k次閱讀
- PCB電路板等離子體處理的方法介紹 3.5k次閱讀
- 區(qū)塊鏈等離子體研究指導(dǎo)框架 999次閱讀
- PCB多層板舉例說明等離子體處理之機理 3k次閱讀
- 等離子體技術(shù)廢水處理工藝工藝流程 3.8k次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1MDD品牌三極管MMBT3906數(shù)據(jù)手冊
- 2.33 MB | 次下載 | 免費
- 2MDD品牌三極管S9012數(shù)據(jù)手冊
- 2.62 MB | 次下載 | 免費
- 3聯(lián)想flex2-14D/15D說明書
- 4.92 MB | 次下載 | 免費
- 4收音環(huán)繞擴音機 AVR-1507手冊
- 2.50 MB | 次下載 | 免費
- 524Pin Type-C連接器設(shè)計報告
- 1.06 MB | 次下載 | 免費
- 6新一代網(wǎng)絡(luò)可視化（NPB 2.0）
- 3.40 MB | 次下載 | 免費
- 7MS1000TA 超聲波測量模擬前端芯片技術(shù)手冊
- 0.60 MB | 次下載 | 免費
- 8MS1022高精度時間測量(TDC)電路數(shù)據(jù)手冊
- 1.81 MB | 次下載 | 免費
本月
- 1愛華AIWA HS-J202維修手冊
- 3.34 MB | 37次下載 | 免費
- 2PC5502負(fù)載均流控制電路數(shù)據(jù)手冊
- 1.63 MB | 23次下載 | 免費
- 3NB-IoT芯片廠商的資料說明
- 0.31 MB | 22次下載 | 1 積分
- 4H110主板CPU PWM芯片ISL95858HRZ-T核心供電電路圖資料
- 0.63 MB | 6次下載 | 1 積分
- 5UWB653Pro USB口測距通信定位模塊規(guī)格書
- 838.47 KB | 5次下載 | 免費
- 6技嘉H110主板IT8628E_BX IO電路圖資料
- 2.61 MB | 4次下載 | 1 積分
- 7蘇泊爾DCL6907(即CHK-S007)單芯片電磁爐原理圖資料
- 0.04 MB | 4次下載 | 1 積分
- 8100W準(zhǔn)諧振反激式恒流電源電路圖資料
- 0.09 MB | 2次下載 | 1 積分
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935137次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關(guān)降壓/升壓雙向直流/直流轉(zhuǎn)換器 PCB layout 設(shè)計
- 1.48MB | 420064次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233089次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191439次下載 | 10 積分
- 5十天學(xué)會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183353次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81602次下載 | 10 積分
- 7Keil工具M(jìn)DK-Arm免費下載
- 0.02 MB | 73822次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65991次下載 | 10 積分
工商網(wǎng)監(jiān)
評論