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微納機(jī)電系統(tǒng)通常需要外部電源驅(qū)動(dòng)，但隨著功耗的不斷降低，開(kāi)發(fā)出直接由環(huán)境供能的微納機(jī)電系統(tǒng)也就成為了可能，因此
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