ITO導電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工制作成的。液晶顯示器專用ITO導電玻璃，還會在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化硅阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此，最終的液晶顯示器都會沿浮法方向，規(guī)律的出現(xiàn)波紋不平整情況。

在濺鍍ITO層時，不同的靶材與玻璃間，在不同的溫度和運動方式下，所得到的ITO層會有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些，更容易出現(xiàn)“麻點”現(xiàn)象；有些廠家的玻璃ITO層會出現(xiàn)高蝕間隔帶，ITO層在蝕刻時，更容易出現(xiàn)直線放射型的缺劃或電阻偏高帶；另一些廠家的玻璃ITO層則會出現(xiàn)微晶溝縫。

ITO導電層的特性：

ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。由于ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學反應(yīng)而變質(zhì)，俗稱“霉變”，因此在存放時要防潮。

ITO層在活性正價離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng)，形成其它導電和透過率不佳的反應(yīng)物質(zhì)，所以在加工過程中，盡量避免長時間放在活性正價離子溶液中。

ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。

ITO導電玻璃的分類：

ITO導電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150~500奧姆）、普通玻璃（電阻在60~150奧姆）、低電阻玻璃（電阻小于60奧姆）。高電阻玻璃一般用于靜電防護、觸控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。

ITO導電玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規(guī)格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。

ITO導電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。

影響ITO玻璃性能的主要參數(shù)：

長度、寬度、厚度及允差（±0.20）

垂直度（≤0.10%）

翹曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）

微觀波紋度

倒邊

C倒邊（0.05mm≤寬度≤0.40mm）

R倒邊（0.20mm≤寬度≤1.00mm，曲率半徑≤50mm）

倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）

SIO2阻擋層厚度（350?！?0埃，550nm透過率≥90%）

ITO層光學、電學、蝕刻性能（蝕刻液：600C 37%HCL:H267%HNO3=50:50:3）：見表1-1。

表1-1

化學穩(wěn)定性：

耐堿為浸入600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

附著力：在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下，膜層無損傷；或連撕三次后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。

熱穩(wěn)定性：在3000C的空氣中，加熱30分鐘后，ITO導電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。

外觀質(zhì)量：

裂紋：不允許。

粘附物：包括塵粒、玻璃碎等凸起物，TN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.1mm的粘附物；STN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.05mm的粘附物。

沾污：不可有不溶于水或一般清洗劑無法除去的沾污。

崩邊：長X寬≤2.0mmx1.0mm；深度不超過玻璃基片厚度的50%；總長度≤總邊長的5%。

劃痕：見表1-2。表1-2

玻璃體線狀缺陷(寬度W)：包括玻筋、光學變形見表1-4。表1-4

膜層點狀缺陷：SIO2阻擋層和ITO導電層的點狀缺陷包括針孔、空洞、顆粒等，點狀缺陷的直徑定義為：d=(缺陷長+缺陷寬)/2。見表1-5。表1-5

ITO導電玻璃的工廠自適應(yīng)測試方法及判定標準：

尺寸：

A、測試方法：用直尺和游標卡尺測量待測玻璃原片的長度、寬度、厚度。

B、判定標準：測量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。

面電阻:

A、測試方法：把待測試玻璃整個區(qū)域做為測試區(qū)域，然后測試區(qū)域分成九等份后再用四探針測試儀分別測試各區(qū)域的面電阻。

B、判定標準：根據(jù)測試結(jié)果計算出電阻平均值及電阻資料分散值，結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。

ITO層溫度性能

A、測試方法：把待測玻璃原片在3000C的空氣中，加熱30分鐘，測試其加溫前后的同一點面電阻阻值。

B、判定標準：ITO導電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。

蝕刻性能：

A、測試方法：把待測玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測試其蝕刻完全的時間。

B、判定標準：蝕刻完全的時間值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)定時間的一半值為合格。

或按表1-1蝕刻性能指針檢測。

ITO層耐堿性能

A、測試方法：把待測玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，測試其浸泡前后的同一點面電阻阻值。

B、判定標準：ITO層方塊電阻變化值不超過10%為合格。

光電性能與可靠性：

A、測試方法：把待測玻璃與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃按現(xiàn)生產(chǎn)工藝參數(shù)，選擇一型號制作成成品并測試其光電與可靠性性能；

B、判定標準：光電性能與可靠性測試結(jié)果與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃結(jié)果相當，并在測試產(chǎn)品型號要求范圍之內(nèi)。

ITO導電玻璃的選用規(guī)則：

模數(shù)在240以上的產(chǎn)品，一般可選用供貨商B級品玻璃；

模數(shù)在40模以上，240模以下的產(chǎn)品，一般選用普通A級品玻璃；

模數(shù)在40模以下的產(chǎn)品，STN產(chǎn)品，一般選用低電阻拋光玻璃。

COG產(chǎn)品，一般選用15奧姆拋光玻璃。附：工廠ITO玻璃參考選用原則：

6、ITO導電玻璃的使用方法：

l          任何時候都不容許迭放；

l          除規(guī)定外，一般要求豎向放置；平放操作時，盡量保持ITO面朝下；厚度在0.55mm以下的玻璃只能豎向放置；

l          取放時只能接觸四邊，不能接觸導電玻璃ITO表面；

l          輕拿輕放，不能與其它治具和機器碰撞；

l          如果要長時間存放，一定要注意防潮，以免影響玻璃的電阻和透過率；

l          對于大面積和長條形玻璃，在設(shè)計排版時要考慮玻璃基片的浮法方向。

7、ITO導電玻璃的貯存及搬運方法：

ITO導電玻璃的貯存方法：

ITO導電玻璃應(yīng)貯存在室溫條件下，濕度在65%以下干燥保存；貯放時玻璃保持豎向放置，玻璃間堆放不可超過二層，木箱裝ITO導電玻璃貨物堆放不可超過五層。紙箱裝貨ITO導電玻璃貨物，原則上不能堆放。

ITO導電玻璃搬運方法：

易碎品，小心輕放，保持搬運過程中的穩(wěn)定性，搬運時層高不得超過三層。