Axys 407機(jī)器人兼容1級潔凈室，能夠?qū)?00毫米或300毫米晶圓從晶圓盒或載體中的任何位置移動到任何加工工具的加工站或加載鎖中。憑借其專有的SmartCourse軟件，操作員可以指定復(fù)雜的機(jī)器人運(yùn)動，并使其能夠從兩個300毫米的前開口統(tǒng)一吊艙（FOUP）移動晶圓，而無需使用昂貴的水平線性軌道。

許多老一代機(jī)器人采用了皮帶和皮帶輪驅(qū)動部件，可以磨損和滑動。該公司表示，Asyst的Axys 407機(jī)器人由一個終生密封的齒輪系統(tǒng)直接驅(qū)動，可以減少維護(hù)停機(jī)時間。此外，該機(jī)器人還包含四個主要的現(xiàn)場可更換子組件，與舊機(jī)器人設(shè)計相比，可將零件總數(shù)減少五倍。

Asyst表示，所有這一切使得Axys 407能夠在故障前實現(xiàn)超過1000萬次平均周期的可靠性（MCBF）。

“半導(dǎo)體工廠向更高的自動化邁進(jìn)制造流程日益復(fù)雜，給OEM提供了更大的壓力，要求他們提高工具的性能和生產(chǎn)率，“Asyst全球客戶運(yùn)營高級副總裁Dennis Riccio說。 “這反過來推動了對更可靠的機(jī)器人的需求，以便在整個晶圓廠加工時將晶圓移入和移出加工工具?！?/p>

Axys 407也是Asyst's的一個組成部分。 Plus Portal是一個交鑰匙工具自動化解決方案，可實現(xiàn)OEM生產(chǎn)工具與先進(jìn)的晶圓廠自動化系統(tǒng)之間的無縫集成。

Asyst提供Axys 407作為業(yè)界最大的產(chǎn)品之一的直接替代品Riccio補(bǔ)充說，常用的上一代晶圓傳輸機(jī)器人。 “我們相信這是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)第一次提供此類產(chǎn)品。此外，我們正在與客戶密切合作，以確保我們的Axys平臺完全集成到他們的工藝工具中，以確保高水平的性能?！?/p>

Axys 407機(jī)器人目前正在主要的半導(dǎo)體設(shè)備OEM站點進(jìn)行運(yùn)輸和測試。生產(chǎn)交付計劃于本月開始。