新的PureLine 3技術(shù)可消除97%的環(huán)境噪聲，使頻譜噪聲性能提高32倍。利用該技術(shù)，可在片測量高精度的器件性能，并為IC設(shè)計者生成器件模型。

早些時候，我們發(fā)布了一篇博客，宣布推出CM300xi-ULN探針臺。這一新的在片噪聲測試金標準具有許多新特點，但最重要的特點是PureLine?第三代技術(shù)。

該技術(shù)包含我們的大量專利、電氣設(shè)計知識和測量系統(tǒng)IP，共同為被測器件（DUT）提供有效的無噪聲環(huán)境。

與Elite300和CM300探針臺以前的PureLine版本相比，新的PureLine 3可消除97%的環(huán)境噪聲，使頻譜噪聲性能提高32倍。利用該技術(shù)，可在片測量高精度的器件性能，并為IC設(shè)計者生成更有價值的器件模型。

使用具有PureLine 3技術(shù)的新型CM300xi-ULN探針臺，設(shè)備測試工程師、可靠性工程師和IC設(shè)計工程師均可從這一最新技術(shù)中受益。現(xiàn)在可簡單自動地對先進材料、封裝互連、晶體管和IC進行精確的閃爍、RTN和相位噪聲測量，更快地獲取數(shù)據(jù)。

PureLine 3技術(shù)集成到CM300xi-ULN探針臺的許多組件中，包括：

• ULN微室?:這為探針臺、DUT和晶圓卡盤區(qū)域周圍提供了關(guān)鍵測量環(huán)境，以進行低噪聲測試。新增強的ULN微室確保了完整的EMI/RFI屏蔽區(qū)域，就像一個小型的、本地化的大型實驗室法拉第籠。此外，ULN微室提供了所需的黑暗和干燥環(huán)境，這對于測量光敏晶體管和在負溫度（< =-60℃）下無霜運行的器件至關(guān)重要。
• ULN電力調(diào)節(jié)裝置(PCU)：該集成的ULN系統(tǒng)組件可為整個系統(tǒng)-探針臺和儀器提供全面管理和過濾的交流電源。機架安裝ULN電源調(diào)節(jié)裝置（PCU）的專利PureLine 3技術(shù)使設(shè)備占地面積小、場發(fā)射率低，并為消除探針臺和儀器之間產(chǎn)生明顯低頻噪聲的接地回路的測試單元電源管理（TCPM）奠定了基礎(chǔ)。ULN PCU為探針臺、熱冷卻器和控制器、晶圓裝載器、動力配件和所有測試儀器提供清潔、過濾的交流電源。此外，PCU為整個系統(tǒng)和所有儀器的安全運行提供統(tǒng)一的緊急斷電/緊急電源控制系統(tǒng)。
• ULN熱過濾模塊：ULN熱過濾模塊包含在所有帶有熱控制晶圓卡盤的ULN系統(tǒng)中。這對于在溫度下實現(xiàn)超低噪聲測量至關(guān)重要外部熱控系統(tǒng)產(chǎn)生的有害噪聲被過濾，防止進入關(guān)鍵的低噪聲測量環(huán)境中。有源模塊顯著降低高頻噪聲，1Mhz以上可降低30dB。
• ULN單點接地和布線系統(tǒng)：每個ULN系統(tǒng)還包括用于所有探針臺配件的單點接地系統(tǒng)，具有低電阻接地連接。PureLine 3的設(shè)計實踐為機械組件提供了低電阻材料和硬連接方案-降低了將不必要的射頻噪聲輸入測量路徑的天線效應(yīng)。
• 精確測量PLL相位噪聲的ULN SMU過濾模塊：對于鎖相環(huán)電路（PLL）和壓控振蕩器（VCO）等設(shè)備的高精度相位噪聲測量，新開發(fā)的源測量單元（SMU）DC過濾模塊可與CM300xi-ULN探針臺一起使用，以提供超靜音/清潔的DC電源電壓。高性能DC SMU過濾模塊可提供高達100dB的衰減（50Hz至80Mhz），可處理最大100mA DC電流。每個SMU過濾模塊支持一個通道，多個模塊可配置在一起，以提供多通道清潔電源。
• ULN智能接觸技術(shù)模塊：新的ULN智能接觸技術(shù)?模塊（1、2和4探針座系統(tǒng)）具有PureLine 3降噪功能，使CM300xi-ULN成為世界上第一個在30μm焊盤上實現(xiàn)自主閃爍噪聲熱測試的探針臺。利用自動化DC測量助手，CM300xi-ULN可配置為使用帶電動探頭定位器的ULN優(yōu)化的
• Contact Intelligence技術(shù)，進行完全自主的DC和閃爍噪聲測量，在不同溫度下實現(xiàn)全天候自動運行。

審核編輯：符乾江