1.開關產品介紹

微波開關又稱射頻開關，實現了控制微波信號通道轉換作用。是射頻通路中的常用器件。涉及到通路的切換，都需要用到它，所以是智能手機必不可少的器件，射頻前端必須覆蓋非常寬的頻帶，從600MHz一直延伸到3GHz。隨著更加先進的5G技術的到來，頻段將進一步上延，甚至達到5GHz至60GHz。這給前端RF設計師帶來了巨大的挑戰(zhàn)。

2.開關產品的工藝及ESD防護特殊性

開關產品工藝有很多，比如早期的砷化鎵器，PIN二極管，硅基SOI工藝, RF MEMS等，但是比較流行的多為硅基SOI工藝，也就是由很多的MOS組成，由于其開關高達60GHz速度，這也就意味著這些管腳放入常規(guī)ESD防護電路是沒有用的，因為其開關的速度要遠快與ESD防護電路，所以一般射頻開關產品在射頻管腳上是沒有自己的ESD電路的，而是由其自身的MOS電路去泄放ESD能量，所以在MOS管的Gate上就有了多種處理方式，比如寄生電容，串電阻等。


3.ESD靜電HBM的測試

一般來說ESD測試是不用區(qū)分器件類型的，基本上消費類電子是按照國際規(guī)范JS001-2017進行有組合的測試，一般分為所有管腳對地，所有管腳對電源，IO管腳的相互測試打擊正負靜電即可，如圖1，另外打擊的脈沖間隔時間一般為設定為300ms。在實際測試結果來看，射頻開關類的器件，有時候測試的結果很理想，有時候同樣的產品結果又很差，甚至測試10顆芯片，結果的重復性非常差。

（圖1）

這一現象，有幾種可能性，比如芯片工藝問題，測試設備差異，測試方法標準，還與測試時脈沖的間隔時間相關。

用參數設計的方法，得到的結果是每次測試延時3秒以上，解決了問題，采用此方法可以得到不同設備一樣的結果。經過TLP設備的驗證也可以發(fā)現在器件開啟后會導致Hold Voltage 不穩(wěn)定，也說明MOS在開啟時不均勻圖（2），意味著MOS在開啟的初始電位是不同的，所以對于射頻開關器件，最好是采用延長間隔時間來測試HBM,給予足夠的時間消散累積的電荷，如果還是有此問題，還可以繼續(xù)拉長間隔時間或采用給予待測器件上電的方式也可以解決此問題。

（圖2）

GIGA FORCE

季豐電子

上海季豐電子股份有限公司成立于2008年，致力于集成電路及相關領域內的軟硬件及設備研發(fā)與專業(yè)技術服務，為客戶提供一站式的綜合解決方案。公司的四大業(yè)務版塊包括：基礎技術中心、硬件軟件方案、特種封裝測試、儀器設備研發(fā)。

季豐電子通過高新技術、專精特新小巨人、研發(fā)機構、公共服務平臺等企業(yè)資質認定，通過了ISO9001、ISO17025、CMA、CNAS等認證?？偛课挥谏虾?，在浙江、北京、深圳、成都等地設有分公司。