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內(nèi)容概要

從光譜范圍來看，傳統(tǒng)的輻射校準(zhǔn)光源，如氘燈、石英窗鹵素鎢燈、長(zhǎng)弧氙燈等在光譜測(cè)量范圍上都具有非常大的局限性，因?yàn)樯鲜龉庠礋o法在200 nm-800 nm范圍內(nèi)保持較高的輸出。另外，傳統(tǒng)光源需要在使用100小時(shí)或更短時(shí)間后進(jìn)行重新校準(zhǔn)，在使用500小時(shí)后還需要更換燈泡。為了解決上述問題，Hamamatsu集團(tuán)旗下的Energetiq公司經(jīng)過一系列不懈的努力革命性地研發(fā)出單點(diǎn)激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，并將其命名為L(zhǎng)DLS（Laser Driven Light Source），該類光源不僅可以在170 nm至2100nm的光譜范圍內(nèi)提供超高發(fā)光亮度，而且整個(gè)光源的發(fā)光壽命相比較于傳統(tǒng)光源也高出了整整一個(gè)數(shù)量級(jí)。

本講座視頻中，濱松中國(guó)工程師詳細(xì)介紹了LDLS的原理、性能特點(diǎn)、典型應(yīng)用案例，以及應(yīng)用中的常見問題，帶著大家進(jìn)一步了解這個(gè)顛覆性的技術(shù)。

Q&A

Q：光源使用都必須需要充氮?dú)猓窟€是使用紫外時(shí)充氮?dú)猓?/strong>

LDLS光源輸出大量深紫外光，200nm以下的深紫外光會(huì)使氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧，同時(shí)臭氧會(huì)吸收240nm~270nm的深紫外光。因此，如需使用170nm~270nm的深紫外光，光源在使用時(shí)需要充入純凈氮?dú)?。同時(shí)，充入氮?dú)庖部梢苑乐篃襞荼豢諝庵杏袡C(jī)蒸汽污染。為了保證光學(xué)器件的潔凈，氮?dú)庑枰獫M足6級(jí)潔凈度，充入氮?dú)獾臍鈮盒枰３衷?.14 MPa。

Q：光源對(duì)環(huán)境的要求是什么？高穩(wěn)定性指標(biāo)能到多少？

光源對(duì)環(huán)境的要求：為了防止光源光窗和其他光學(xué)器件的污染，需要將光源在相對(duì)潔凈的環(huán)境中使用。光源需要向外部散發(fā)熱量，需要將光源放置在散熱良好的空間中。

高穩(wěn)定性指標(biāo)能到多少：請(qǐng)參照EQ-99XFC的穩(wěn)定性測(cè)試情況。

Q：光束特性是什么，是準(zhǔn)直光么，發(fā)散角是多少？

EQ-99X是自由空間輸出的點(diǎn)光源，NA=0.47；

EQ-77是自由空間輸出的點(diǎn)光源，NA=0.5；

EQ-400是自由空間輸出的點(diǎn)光源，NA=0.5；

EQ-99XFC是光纖輸出，NA=0.22。

Q：發(fā)光器件是耗材么，后期需要怎么維護(hù)？

我們推薦每9千小時(shí)進(jìn)行一次燈泡更換，燈泡更換需要返廠，更換完成后會(huì)重新老化校準(zhǔn)保留測(cè)試數(shù)據(jù)。

Q：紫外波段使用時(shí)高純度氮?dú)饬髁?slm，消耗量非常大，是否可能封閉燈室減少氮?dú)庥昧浚?/strong>

封閉燈室，需要通過膠水或者焊接的方式將燈室完全密封。燈室部分，需要對(duì)燈泡和光源部分進(jìn)行更換和調(diào)整，而且EQ-77，EQ-400光源，還需要水冷部分，所以無法封閉燈室，只能通過流動(dòng)的氮?dú)狻?/p>
Q：能做到150mm的大光斑么？

LDLS的特點(diǎn)是小光斑，高亮度，通過外置光學(xué)系統(tǒng)，可以將光束擴(kuò)大到150mm，但是光束擴(kuò)大后亮度也會(huì)相應(yīng)降低，所以需要總體看擴(kuò)大光束后亮度降低的情況能否滿足實(shí)際需求。

審核編輯：湯梓紅

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