壓力傳感器是一種可以用于鋼鐵、化工等領(lǐng)域?qū)毫M行測量，與壓力調(diào)節(jié)儀配套使用可實現(xiàn)壓力自動控制。

擴散硅壓力傳感器

原理簡介

擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴散硅傳感器。

擴散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，傳感器的電阻值發(fā)生變化，用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標準測量信號。

擴散硅壓力傳感器

產(chǎn)品特點

1、適合制作小量程的變送器

硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級，彈性芯片最大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。

6、由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。

WPAK63擴散硅壓力傳感器

性能參數(shù)

測量介質(zhì)：液體和氣體

量程范圍：-100kPa～0～10kPa…100MPa

壓力類型：表壓、絕壓、密封壓

輸入阻抗：恒壓：3kΩ～18kΩ/恒流：2kΩ～5kΩ

響應(yīng)時間：≤1ms（上升到 90%FS）

WPAK63基本參數(shù)指標

WPAK63擴散硅壓力傳感器

使用注意事項

■超量程或降量程選用時，幅度控制在±30%FS 以內(nèi)。

■ 壓力方式分表壓、絕壓、密封壓，根據(jù)需要合理選用。

■ 確認系統(tǒng)的最大過載，系統(tǒng)的最大過載應(yīng)小于傳感器的過載保護極限，否則會影響產(chǎn)品的使用壽命，甚至損壞產(chǎn)品。

■ 禁止用任何硬物觸碰膜片，否則會導(dǎo)致膜片破裂?！?制造負壓芯體的材料、工藝與正壓不都相同，不能用表壓芯體替代負壓芯體。

■ 安裝前請仔細核對使用說明書，避免錯誤的安裝導(dǎo)致?lián)p壞產(chǎn)品。

■ 錯誤的使用，會導(dǎo)致危險和人身傷害。

■ 芯體從殼體拔出，禁止拉導(dǎo)線和和管腿。

擴散硅壓力傳感器

產(chǎn)品應(yīng)用

擴散硅壓力傳感器主要應(yīng)用于過程控制系統(tǒng)、壓力校準儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測量、制冷設(shè)備和 HVAC 控制等行業(yè)，可以說，凡是自動化要求比較高的的行業(yè)，都可能會用到擴散硅壓力傳感器。