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激光干涉儀可以完成哪些測量?

中圖儀器 ? 2022-08-03 16:37 ? 次閱讀
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SJ6000激光干涉儀環(huán)境適應能力好,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。除了可完成線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量外,在動態(tài)測量軟件配合下,還可完成線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

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測量功能

1.可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
2.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3.可實現龍門機床雙軸同步測量;
4.可實現對機床回轉軸的測量與校準;
5.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
6.具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;
7.支持手動或自動進行環(huán)境補償。

測量應用

pYYBAGKm18qADSlVAAG_Rbds9qE204.jpg線性測量poYBAGKm18qAcZqjAAIxfP-yrwY909.jpg斜床的傾斜軸測量pYYBAGLqKz-AGVG7AARBoFO8--U189.png測量機床直線度pYYBAGLqKVyAI3rlAAS80TwWPq0691.png測量機床偏擺角度pYYBAGLqK3eAR4baAAO5r-IRm_M564.png垂直度測量poYBAGLqK4eARdqeAAJ8mOnfz2A384.png直線度測量

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